آماره
دوربین واتسون

۱۰۵/۲

آماره برش پاگان
(سطح معنی داری)

۱۵۸/۰
(۹۵۹۰/۰)

آماره جارکیو برا
(سطح معنی داری)

۷۲۴/۲
(۲۵۶۱/۰)

در بررسی معنی دار بودن کلی مدل ، با توجه به این که مقدار سطح اهمیت آماره F از ۰۵/۰ کوچکتر می باشد (۰۰۰۰/۰) با اطمینان ۹۵% معنی دار بودن کلی مدل تایید می شود. ضریب تعیین تعدیل شده مدل نیز گویای آن است که ۲۲/۸۴ درصد از تغییرات بازده دارایی های شرکت ها توسط متغیرهای وارد شده در مدل تبیین می شود.همچنین در بررسی مفروضات رگرسیون کلاسیک نتایج آزمون جارکوا- برا بیانگر آن است که باقیمانده های حاصل ازبرآورد مدل در سطح اطمینان ۹۵% ازتوزیع نرمال برخوردار می باشند بطوری که مقدار سطح اهمیت مربوط به این آزمون بزرگتر از ۰۵/۰ است (۲۵۶۱/۰). همچنین با توجه به این که سطح اهمیت آزمون برش- پاگان بیشتراز ۰۵/۰ می باشد (۹۵۹۰/۰) لذاهمسانی واریانس باقیمانده‏های مدل تأیید می شود. علاوه بر این از آنجایی که مقدار آماره دوربین واتسن مدل مابین ۵/۱ و ۵/۲ است (۱۰۵/۲) لذا می توان گفت در مدل مشکل خود همبستگی باقیمانده ها وجود ندارد. در ارتباط با آزمون همخطی میان متغیرهای پژوهش نیز مقدار آماره VIF (عامل تورم واریانس) برای تمامی متغیرها از ۵ کوچکتر بوده و بیانگر این است که میان متغیرهای پژوهش مشکل همخطی شدید وجود ندارد.

۴-۵-۲-۱) تفسیر نتایج حاصل از آزمون فرضیه دوم پژوهش
فرضیه دوم
بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی جاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد.
 : بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی جاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود ندارد.
 : بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی جاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد.
بر اساس نتایج ارائه شده در جدول ۴-۷، سطح معنی داری آماره t مربوط به ضریبβ_(ΔWC)که نشان دهنده اختلاف بین ضریب پایداری جزء سود عملیاتی جاری اقلام تعهدی با ضریب پایداری جریان نقدی می باشدکوچک تر از ۰۵/۰ بوده (۰۱۸۰/۰) و ضریب آن منفی است (۰۳۷۵/۰-) بنابراین فرضیه H₁ در سطح اطمینان ۹۵ درصد تأیید شده و می توان گفت پایداری اقلام تعهدی سود عملیاتی جاری از ضریب پایداری جریان نقدی، کمتر می باشد. بنابراین بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی جاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد و فرضیه دوم پژوهش در سطح اطمینان ۹۵ درصد تأیید می شود.
۴-۵-۲-۲) تفسیرنتایج حاصل از آزمون فرضیه سوم پژوهش
فرضیه سوم
بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی غیرجاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد.
 : بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی غیرجاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود ندارد.
 : بین ضریب پایداری اقلام تعهدی عملیاتی غیرجاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد.
بر اساس نتایج ارائه شده در جدول ۴-۷، سطح معنی داری آماره t مربوط به ضریبβ_ (ΔNCO)که نشان دهنده اختلاف بین ضریب پایداری جزء سود عملیاتی غیرجاری اقلام تعهدی با ضریب پایداری جریان نقدی می باشدبزرگتر از ۰۵/۰ می باشد (۱۳۳۸/۰) بنابراین فرضیه H₀ در سطح اطمینان ۹۵ درصد تأیید شده ومی توان گفت بین پایداری اقلام تعهدی سودعملیاتی غیرجاری و پایداری جریان نقدی تفاوت معنی داری وجود ندارد. بنابراین فرضیه سوم پژوهش در سطح اطمینان ۹۵ درصد رد می شود.
۴-۵-۲-۳) تفسیرنتایج حاصل از آزمون فرضیه چهارم پژوهش
فرضیه چهارم:بین ضریب پایداری اقلام تعهدی مالی با ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت وجود دارد.
 : بین ضریب پایداری اقلام تعهدی مالی با ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت وجود ندارد.
 :بین ضریب پایداری اقلام تعهدی مالی با ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت وجود دارد.
بر اساس نتایج ارائه شده در جدول ۴-۷، سطح معنی داری آماره t مربوط به ضریبβ_ (ΔFIN)که نشان دهنده اختلاف بین ضریب پایداری جزءمالی اقلام تعهدی با ضریب پایداری جریان نقدی می باشدکوچکتر از ۰۵/۰ بوده (۰۰۰۱/۰) و ضریب آن منفی است (۰۷۴۶/۰-) بنابراین فرضیه H₁ در سطح اطمینان ۹۵ درصد تأیید شده و می توان گفت بین ضریب پایداری اقلام تعهدی مالی با ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت وجود داشته و پایداری اقلام تعهدی مالی از پایداری جریان نقدی، کمتر می باشد. بنابراین فرضیه چهارم پژوهش در سطح اطمینان ۹۵ درصد تأیید می شود.
فصل پنجم
نتیجه گیری و پیشنهادها
۵-۱) مقدمه
درفرایندهر پژوهش، نتایج آن اهمیت بسزایی دارد، چرا که نتیجه گیری هامی تواند مبنایی برای رفع مشکلات موجود و یا بهبود وضعیت موجود به سمت وضعیت مطلوب باشد. در این فصل ابتدا تحلیلی از نتایج آزمون ها صورت می گیرد و در پایان، قبل از بیان برخی از محدودیت های پژوهش، پیشنهاداتی ارائه می گردد که امید است در ادامه راه پژوهش های حسابداری مفید واقع شود.
۵-۲) نتایج حاصل از فرضیات
یافته های حاصل از آزمون فرضیات حاکی از تایید سه فرضیه می باشد و نشان می دهد که ضریب پایداری اقلام تعهدی سود حسابداری جاری ازضریب پایداری جریان نقدی، کمتر است. درعین حال، مطابق با نتایج، ضریب پایداری اقلام تعهدی سودعملیاتی جاری نیز، از ضریب پایداری جریان نقدی، کمتر است. به بیان دیگر، جریان نقدی درگزارشات مالی شرکت های نمونه آماری، پایدارتربوده است. این یافته نشان دهنده این است که اقلام تعهدی درگزارشات مالی شرکت ها، پایدارنبوده و احتمالا متاثراز راهبردهای گزارشگری مدیران باشد. علاوه براین، نتایج حاصله نشان می دهدکه بین ضریب پایداری اقلام تعهدی مالی با ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت وجود دارد. بدین ترتیب، می توان چنین استنباط نمود که جریان نقدی، بدلیل ماهیت واقعی بودن این جریانات، به طور بالقوه دارای پایداری است.
۵-۲-۱) نتیجه آزمون فرضیه اول
فرضیه اول: بین ضریب پایداری اقلام تعهدی سود حسابداری جاری و ضریب پایداری جریان نقدی، تفاوت معنادار وجود دارد.

۵

روابط عمومی

۲۴

۶

ترفیعات فروش

۲۵

۷

بازاریابی مستقیم

۲۶

۸

فروش شخصی

۲۷

روایی و پایایی تحقیق
روایی
مقصود این است که آیا ابزار اندازه‌گیری موردنظر می‌تواند ویژگی و خصوصیتی که ابزار برای آن طراحی شده است را اندازه‌گیری کند یا خیر؟ به عبارت دیگر مفهوم روایی(Validity) به این سوال پاسخ می‌دهد که ابزار اندازه‌گیری تا چه حد خصیصه مورد نظر را می‌سنجد. پرسشنامه‌ای (یا بطور کلی ابزار اندازه‌گیری) که مثلا برای ارزیابی «تعهد سازمانی کارکنان» طراحی شده ولی پرسش‌هایش به گونه‌ای طراحی شده‌اند که «رضایت شغلی کارکنان» را ارزیابی می‌کند روایی ندارد (هرچند ممکن است بررسی‌های آماری، پایایی مطلوب آن را نشان دهد) همین‌طور پرسشنامه‌ای که همه وجوه موضوع مورد تحقیق را در بر نگیرد قطعا دارای روایی مطلوبی نیست.

نظر کارشناسان و خبرگان می‌تواند کمک خوبی برای بهبود روایی ابزار اندازه‌گیری باشد. موضوع روایی از آن جهت اهمیت دارد که اندازه گیری‌های نامتناسب می‌تواند هر پژوهش علمی را بی ارزش سازد. متاسفانه در اغلب تحقیقات دانشگاهی در کشور ما به روایی ابزار تحقیق توجه کافی نمی‌شود.
پایایی
پایایی ( Reliability ) با این امر سر و کار دارد که ابزار اندازه‌گیری در شرایط یکسان تا چه اندازه نتایج یکسانی به دست می‌دهد. به عبارت دیگر، «همبستگی میان یک مجموعه از نمرات و مجموعه دیگری از نمرات در یک آزمون معادل که به صورت مستقل بر یک گروه آزمودنی به دست آمده است» چقدر است.
به بیان دیگر اگر ابزار اندازه‌گیری را در یک فاصله زمانی کوتاه چندین بار به یک گروه واحدی از افراد بدهیم نتایج حاصل نزدیک به هم باشد. برای اندازه‌گیری پایایی شاخصی به نام ضریب پایایی استفاده می‌کنیم. دامنه ضریب پایایی از صفر تا ۱+ است. ضریب پایایی صفر معرف عدم پایایی و ضریب پایایی یک معرف پایایی کامل است. “پایایی کامل” واقعاً به ندرت دیده می‌شود و در صورت مشاهده قبل از هر چیز باید به نتایج شک کرد. برای محاسبه ضریب پایایی ابزار اندازه‌گیری، شیوه‌های مختلفی به کار برده می‌شود. نرم افزار SPSS یکی از نرم افزارهای متداول برای تعیین پایایی با یکی از روش‌های فوق ( و معمولا روش آلفای کرونباخ (Cronbach Alpha) می‌باشد. ضریب آلفای کرونباخ، برای سنجش میزان تک بعدی بودن نگرشها، عقاید و … بکار می رود. در واقع می خواهیم ببینیم تا چه حد برداشت پاسخگویان از سوالات یکسان بوده است. اساس این ضریب بر پایه مقیاسهاست. مقیاس عبارتند از دسته ای از اعداد که بر روی یک پیوستار به افراد، اشیا یا رفتارها در جهت به کمیت کشاندن کیفیت ها اختصاص داده می شود. رایج ترین مقیاس که در تحقیقات اجتماعی بکار می رود مقیاس لیکرت است. در مقیاس لیکرت اساس کار بر فرض هم وزن بودن گویه ها استوار است. بدین ترتیب به هر گویه نمراتی (مثلا از۱ تا ۵ برای مقیاس لیکرت ۵ گویه ای) داده می شود که مجموع نمراتی که هر فرد از گویه ها می گیرد نمایانگر گرایش او خواهد بود.در صورتیکه ضریب آلفا بزرگتر از ۰٫۷ باشد، بدان معناست که ابزار تحقیق از پایایی مناسبی برخوردار است.
ضریب آلفای کرونباخ برای متغیرهای تحقیق

ردیف

ضریب آلفای کرونباخ

پیش آزمون

کل جامعه

۱

بازار مداری

۷۱%

۷۱%

۲

مشتری مداری

۷۲%

۷۵%

۳

برند مداری

با جایگذاری تقریب دویل یعنی استفاده از رابطه در عبارت بالا و قرار دادن و سپس نو آرایی خواهیم داشت:

با رسم نمودار بر حسب به ازای مشخص در سرعت های گرمادهی مختلف، می توان انرژی فعالسازی متناظر با مورد نظر را بدون نیاز به دانستن مدل و با بهره گرفتن از شیب نمودار به دست آورد.
روش کوتس ردفرن اصلاح شده:
برنهام و بران با بهره گرفتن از نو آرایی روش مدل فیتینگ کوتس- ردفرن را به یک روش هم تبدیل برگرداندند و به معادله ی زیر رسیدند. [۳۱]

با بهره گرفتن از شیب نمودار بر حسب ، می توان انرژی فعالسازی را به ازای هر به دست آورد.
روش ASTM [38]
برای تعیین پارامترهای آرنیوس تجزیه حرارتی نیتروسلولز استفاده میشود. به منظور محاسبه فاکتور پیش نمایی (A) ، واکنش مرتبه اول فرض شده است.در این روش انرژی فعالسازی با متد ازاوا طبق رابطه مقابل تعیین میشود:

که دمای سرعت ماکزیمم بوده و فاکتور فرکانس از رابطه زیر به دست می آید:

در رابطه (۱‑۵۵) با بهره گرفتن از شیب خط بر حسب می توان انرژی فعالسازی را بدست آورد.
۱-۶ تغییر انرژی فعالسازی با پیشرفت واکنش
معادله آرنیوس با بهره گرفتن از انرژی فعالسازی و فاکتور فرکانس ثابت در طی واکنش تک مرحله ای ثابت سرعت واکنش را به دما مرتبط میکند، اما در سینتیک حالت جامد تغییرات انرژی فعالسازی با پیشرفت واکنش مشاهده می گردد[۳۹-۴۱] این تغییرات با بهره گرفتن از روش های بدون مدل شناسایی شدند که با اصول پایه ای سینتیک شیمیایی در تعارض است. خوام و فلانگان^[۳۹] [۴۲,۴۳], نشان دادند که دلیل این نوع تغییرات ۲ نوع است:
تغییرات حقیقی^[۴۰] که ناشی از ماهیت پیچیده ی واکنش های حالت جامد است
تغییرات تصنعی^[۴۱] که ناشی از استفاده از برخی روش های بدون مدل است.
۱-۶-۱ تغییرات حقیقی انرژی فعالسازی:
نظریات مختلفی پیرامون رخ دادن این نوع تغییرات در مقادیر انرژی فعالسازی هم در فاز همگن [۳۹] و هم ناهمگن[۴۴] وجود دارد. در حالت جامد تغییر در Ea در واکنش های بنیادی بدلیل ماهیت هتروژن نمونه جامد و یا بخاطر مکانیسم پیچیده ی واکنش مشاهده میگردد.
۱-۶-۱-۱ واکنش های بنیادی^[۴۲] :
اگر در واکنش های بنیادی در طی پیشرفت واکنش تغییرات Ea دیده شود ناشی از تغییرات سیستماتیک در سینتیک واکنش خواهد بود. این پدیده در واکنش های فاز همگن به دلیل تحرک آزاد اجزاء مشاهده نمیشود ، در واکنش های فاز جامد اجزاء واکنش دهنده به طور کامل ایزوله نیستند و برخورد های شدیدی با اجزاء و مولکولهای همسایه دارند در نتیجه واکنش پذیری بدلیل تشکیل یا از بین رفتن محصول، ایجاد نقص های بلوری و … تغییر میکند.[۴۴]
تغییر در شرایط آزمایشگاهی مثل درجه حرارت محیط آزمایشگاه نه تنها با تغییر ثابت سرعت واکنش بلکه با تغییر مکانیکی می تواند سینتیک واکنش را تغییر دهد.سینتیک واکنش های بنیادی تابع دماست و سینتیک واکنش های پیچیده تحت اثر دما بدلیل تغییر در سهم هر مرحله بنیادی [۵۴] یا تغییر در مرحله تعیین کننده ی سرعت متفاوت خواهد بود.
۱-۶-۱-۲ واکنش های پیچیده:
واکنشی که در آن دو یا چند مرحله بنیادی با Ea ویژه، سرعت تشکیل محصول را کنترل می کنند.[۴۵]
در چنین واکنش هایی نحوه توزیع مرحله ی تعیین کننده ی سرعت با پیشرفت واکنش تغییر کرده و به تبع آن انرژی فعالسازی با پیشرفت واکنش تغییر خواهد کرد.
انرژی فعالسازی موثر بصورت ریاضی با مشتق گیری از لگاریتم طبیعی قانون سرعت غیر همدما بدست می آید:
به این ترتیب می توان انرژی فعالسازی را به ازاء هر درجه تبدیل بدست آورد.
علاوه بر موارد بالا فرایند های فیزیکی رخ داده در طی واکنش می تواند انرژی فعالسازی را تغییر دهد.
فرایند هسته زایی و رشد هسته: سد انرژی برای فرایند هسته زایی در مقایسه با رشد هسته بزرگتر است، زمانیکه هسته تشکیل شد، سرعت پیشروی سطح بسیار کمتر از مقداری است که فرایند هسته زایی رخ می دهد. علاوه بر آن هیچ نقطه ی مشخصی وجود ندارد که تعیین کند هسته زایی متوقف شده و رشد هسته شروع شده است چون هر دو فرایند بهم وابسته هستند.ممکن است در طی پیشرفت واکنش سهم هسته زایی کم شده و سبب تغییر انرژی فعالسازی موثر گردد.
توزیع ناقص^[۴۳]: نحوه توزیع نمونه های مختلف متفاوت است از این رو هیچ دو نمونه ی کاملا یکسانی وجود نخواهد داشت اگرچه کاملا مشابه باشند [۴۶] این عامل سبب تغییر پروفایل سینتیکی نمونه خواهد شد.

دسترسی رایگان
سایت یو لایک ^[۷۳]
یکی از این سرویس­های محبوب نشانه­گذاری اجتماعی^[۷۴] با تمرکز بر مسائل علمی سایت سایت یو لایک است. هدف نشانه­گذاری اجتماعی ذخیره، سازمان‌دهی، جستجو و مدیریت نشانک‌ها یا علاقه‌مندی‌ها^[۷۵] است (ویکی‌پدیا^[۷۶]، ۲۰۰۹). که شکلی از مدیریت لینک‌ با عطر و طعم‌ شبکه‌های اجتماعی و یا رویکردی باز و بدون ساختار برای برچسب‌زدن بر لینک‌های منابع است (بوک ووا و همکاران،۲۰۱۰).

نشانه­گذاری اجتماعی در مسائلی مانند ذخیره­سازی، سازمان‌دهی، به اشتراک‌گذاری و پیدا کردن مقالات و کتاب­های علمی منتشرشده به ارائه خدمات می ­پردازد که شرایطی را برای واردکردن مراجع ازجمله تمام جزئیات کتابشناختی از یک صفحه وب (مثلاً آمازون) از طریق دکمه مرورگر در یک کتابخانه برخط شخصی فراهم می­ کند. مانند ابزارهای نشانه­گذاری اجتماعی مرسوم می‌توان مراجع خود را با برچسب‌هایی سازمان‌دهی کرده و مراجع افراد دیگر که برچسب‌گذاری شده‌اند را نیز مشاهده کرد. علاوه بر این می‌توان از اینکه چه شخص دیگری دارای یک مرجع خاص در کتابخانه است اطلاع پیدا کرده و گروه‌هایی با افراد دیگر ساخت تا مرجع­های علمی خود و مقالات را با آن­ها به اشتراک گذاشت.
خدمات مربوط به مقالات علمی مانند وب‌سایت سایت یو لایک بیشتر در پشتیبانی از بازیابی، مطالعه و نوشتن توانایی دارند. در مورد بازیابی، خصوصیات مشابهی به پایگاه‌داده‌های ادبیات وجود دارد. در زمان مطالعه­ یک مقاله می‌توان یادداشت‌برداری کرده و به مرجع مورد نظر امتیاز داده و آن را با دیگران به اشتراک گذاشت. پشتیبانی نوشتاری به ترتیب می‌تواند به صورت‌های زیر تقسیم‌بندی شود (۱) ضبط خودکار داده‌های کتابشناختی و ارائه آن در یک فرمت استاندارد و (۲) استفاده از یک پایگاه داده‌ به اشتراک گذاشته‌شده (جمع‌ آوری‌شده در یک گروه) به وسیله نوشتن یک مطلب مشترک با دیگران (بوک ووا و همکاران،۲۰۱۰).
ریسرچر آیدی^[۷۷]
وب‌سایت ریسرچر آیدی یک شبکه‌اجتماعی پژوهشی است که در سال ۲۰۰۸ آغاز به کار کرد و محققین با عضویت در آن می‌توانند درخواست داشتن یک شناسه کاربری^[۷۸] پژوهشی برای خود بدهند تا مشکل شباهت اسامی محققین و حرف اول نام آن‌ها یا اشتباه در ذکر ژورنال تخصصی برطرف شود. در صفحه اصلی این سایت آمده است: ریسرچر آیدی راه‌حلی برای مشکل ناشناس بودن نویسنده در جامعه تحقیقات علمی ارائه می‌دهد. در این سایت کاربران اطلاعات خود را در پروفایلی ذخیره کرده و می‌توانند با بارگذاری فایل و جستجوی اطلاعات از طریق سرویس‌های جستجوی وب اف ساینس^[۷۹] و وب اف نولج^[۸۰] و نیز استفاده از خدمات ارجاع‌دهی این سایت از آن استفاده کرده، تعداد دفعات ارجاعات خود، شاخص اچ^[۸۱] و همکاران بالقوه خود را شناسایی کنند. این سایت با سایت اندنوت به صورت ادغامی فعالیت می‌کند^[۸۲]. این سایت به طور ویژه‌ برای رشته‌های علوم انسانی کاربرد دارد و می‌تواند محققین این رشته‌ها را با یکدیگر آشنا کند. از دیگر امکانات این سایت می‌توان به موارد زیر اشاره کرد:
به روز رسانی پروفایل کتابشناختی در هر زمان
ساخت یک لیست “انتشارات من” از طریق بارگذاری انتشارات
مدیریت لیست انتشارات با نرم افزار اندنوت
کنترل عمومی یا خصوصی بودن پروفایل مانند اکثر شبکه‌های اجتماعی
امکان جستجوی همکاران، مرور لیست انتشارات آن‌ها و مطالعه روش‌های تحقیق دیگر کاربران در سراسر جهان
مایکروسافت آکادمیک ریسرچ^[۸۳]
وب‌سایت جستجوی علمی مایکروسافت یک موتور جستجوی عمومی رایگان برای مقالات و ادبیات علمی است که توسط مایکروسافت با هدف کمک به محققان در امر پژوهش، داده‌کاوی^[۸۴]، ارتباط نهادها و تجسم داده‌ها ساخته‌شده‌است (مایکروسافت آکادمیک ریسرچ، ۲۰۱۴). پایگاه‌داده این سایت شامل اطلاعات کتابشناسی برای مقالات چاپ‌شده در ژورنال‌ها، کنفرانس‌ها و ارجاعات آن‌هاست. در فوریه ۲۰۱۴ بیش از ۳۹ میلیون انتشارات و ۱۹ میلیون نویسنده در این سایت به ثبت رسیده‌است^[۸۵].
در چند سال گذشته این سایت در حال رقابت با گوگل‌اسکولار بود تا به برترین موتور جستجوی علمی رایگان تبدیل شود. تعداد کاربران و مقالات ثبت شده در آن تأییدکننده این مطلب بود. حتی بعضی امکانات آن در مقایسه با سایت گوگل‌اسکولار برتری‌هایی داشت. اما این اتفاق هرگز نیفتاد (ون نوردن، ۲۰۱۴). با توجه به بررسی‌های سایت آرکسیو^[۸۶]، این سایت از سال ۲۰۱۳ به روز نشده و تعداد مقالات فهرست‌شده در آن از سال ۲۰۱۱ به میزان چشمگیری کاهش پیداکرده‌است. دیگر محققین نیز متوجه این مسأله شده‌اند، این موضوع را می‌توان از شکایات نوشته ‌شده در بخش پیام‌های سایت متوجه ‌شد که تنها پاسخ داده‌شده به آن‌ها این بوده‌است که “در حال‌حاضر سازمان در حال کار برای ایجاد محتوای جدید است” (ون نوردن، ۲۰۱۴). زودتر گزارش‌داده نشدن این کاهش به نویسندگان نشان می‌دهد که این سرویس مورد بی‌توجهی افراد علمی و دانشگاهی و کتابشناسان بوده‌است (سایت آرکسیو،۲۰۱۴).
با درنظرگرفتن مشکلات ذکرشده به نظر می‌رسد این سایت در جستجوی مقالات علمی ضعیف عمل کرده و ازسوی محققین و دانشجویانی که از سایت گوگل اسکولار برای به‌روز نگه‌داشتن پروفایل خود و بررسی ارجاعات استفاده می‌کنند، مورد بی‌توجهی واقع شده است (اردونا-مالیا، ۲۰۱۴).
جمع بندی
وب‌سایت‌های ذکرشده هرکدام مزایای منحصربه‌فردی برای محققین ایجاد می‌کنند. اگرچه انتقادات زیادی در باره این سایت‌ها وجود دارد اما باید به خاطرداشت نسل جدیدی از فارغ‌التحصیلان در حال ورود به مجامع علمی و دانشگاهی هستند که فعالیت‌های برخط و مهارت‌های زیادی در هدایت و اتصال به شبکه های‌اجتماعی رایج دنیا داشته و ارتباط برقرارکردن در دنیای مجازی برایشان امری عادی است. بنابراین چرا این نسل جدید محققان از این مهارت خود در امر تحقیق و پژوهش، به ویژه در دنیای رقابتی علمی امروز استفاده نکنند؟ به همین علت نمی‌توان نقش این سایت ها را نادیده گرفت (کولار،۲۰۱۲).
بخش دوم:
عملکرد
مقدمه
ارتقای کیفیت عملکرد دانشگاه‌ها در گرو گروه‌های آموزشی توانمند و شایسته است. از این رو ارزیابی عملکرد گروه‌های آموزشی یکی از مسئولیت‌های مهم مدیران و مسئولان دانشگاهی برای توسعه حرفه‌ای و حفظ ارتقای آموزش عالی است. مدیران و اعضای گروه‌های آموزشی با ارزیابی عملکرد به نقاط قوت و ضعف خود پی می‌برند و با ریشه‌یابی آن، اقدامات اصلاحی به منظور بهبود عملکرد خود انجام می‌دهند. علاوه بر این ارزیابی عملکرد در کاهش هزینه‌ها، ارتقای کیفیت و جلب رضایت ذی نفعان مؤثر است (عزتی، ۱۳۹۱). بدیهی است که این امر در دانشگاه‌ها که مرکز تفکر و اندیشه، خلاقیت و نوآوری و نیز متولی پاسخگویی به نیازهای جامعه در جهت تولید، ترویج و توسعه دانش و فناوری هستند، از اهمیت خاصی برخوردار است و مدیران مؤسسات آموزشی برای دستیابی به عملکرد مطلوب و بهره برداری از همه منابع و امکانات موجود لازم است ضمن به کارگیری مدیریت صحیح منابع، به ارزیابی عملکرد گروه‌ها و واحدهای آموزشی نیز بپردازند.
تعریف عملکرد و ویژگی‌های آن
عملکرد معانی زیادی دارد. مانند نتیجه کار، میزان کار و حاصل محصول (دهخدا، ۱۳۷۹). عملکرد نتیجه عمل، حاصل کار یا همان کارکرد است (صدری افشار،۱۳۸۱). عملکرد به رفتار قابل مشاهده اشاره می‌کند و تفاوت آن با رفتار در آن است که رفتار به هرگونه عمل شخص گفته می‌شود درحالی‌که عملکرد به نتیجه عمل فرد اشاره می‌کند که در ارزشیابی از میزان یادگیری او مورد استفاده قرار می‌گیرد. عملکرد فرد از عواملی چون انگیزش و هیجان، شرایط محیطی، خستگی و بیماری متأثر می‌شود، سپس با توجه به این عوامل، عملکرد فرد ممکن است شاخص به نسبت درستی از یادگیری او باشد یا اینکه نتواند آن را به خوبی نشان دهد (سیف، ۱۳۸۷).
درواقع عملکرد رفتاری است که دو ویژگی دارد. نخست قابل اندازه‌گیری است، یعنی رفتارهایی که می‌توانند به صورت کلمات مشخص شوند. ارزش این رفتارها براساس میزان مشارکت آن‌ها برای تکمیل اهداف فردی، واحدی یا سازمانی متفاوت است. دوم، چند بعدی است، یعنی رفتارهای گوناگونی وجود دارند که توان پیش‌برنده تا ممانعت با اهداف سازمانی را دارند. بنابراین درک عملکرد مستلزم در‌نظرگرفتن تعداد زیادی از انواع رفتارهای گوناگون است. می‌توان گفت عملکرد اعمالی است که فرد در شغل خود انجام می‌دهد (پازارگادی و همکاران،۱۳۸۷).
بایرز و روا^[۸۷] (۲۰۰۸) بیان می کنند عملکرد به درجه انجام وظایفی که شغل یک کارمند را تکمیل می‌کند اشاره دارد. نو و دیگران(۲۰۰۸) عملکرد را ناشی از ویژگی‌های شخصی، مهارت‌ها و نظیر آن می‌دانند. این ویژگی‌ها از طریق رفتار کارکنان به نتایج عینی تبدیل می‌شود. در واقع کارکنان تنها در صورتی که دانش، مهارت‌ها و توانایی‌ها و سایر ویژگی‌های ضروری برای انجام یک شغل را داشته‌باشند می‌توانند رفتارشان را نشان ‌دهند.
دانشگاه‌ها و مراکز آموزش عالی مأموریت‌های مختلفی را برعهده ‌دارند. اگرچه این مأموریت‌ها ممکن است از جامعه‌ای به جامعه دیگر یا از دانشگاهی به دانشگاه دیگر متفاوت باشد، اما غالب صاحبنظران سه مأموریت اصلی را شامل آموزش، پژوهش و خدمات برای دانشگاه‌ها مورد تأکید قرار داده‌اند (کارلسون، ۲۰۰۷).
ارزشیابی عملکرد اعضای هیأت‌علمی دانشگاه‌های کشور ما بر اساس سه محور آموزش، پژوهش و فعالیت‌های عملی- اجرایی، به نوعی حاکی از پذیرش طبقه‌بندی فوق از مأموریت‌های دانشگاه در آموزش عالی کشور است (معروفی، ۱۳۹۰).
محمدی(۱۳۸۹) نیز عملکرد را در سه بُعد به این شرح مورد بررسی قرار داده‌است : بُعد اول عملکرد آموزشی که شامل مجموعه فرایند تدریس شامل فعالیت‌های پیش از تدریس، حین تدریس و پس از تدریس (ارزشیابی پایان دوره) است. بُعد دوم عملکرد پژوهشی که مطابق تعریف، هرگونه فعالیتی که به تولید علم یا کشف روابط بین پدیده‌ها بینجامد یا راه این فرایند را تسهیل نماید؛ عملکرد پژوهشی می‌نامند. بُعد سوم عملکرد اجرایی- خدماتی، که شامل هرگونه فعالیت دانشگاهی به غیر از تدریس و پژوهش مانند خدمات مشاوره‌ای و خدماتی همراه با پست سازمانی می‌باشد.
عملکرد آموزشی
از میان مأموریت‌های سه‌گانه دانشگاه‌ها، مأموریت “آموزش” از نخستین و بدیهی‌ترین مأموریت‌هایی محسوب می‌شود که از گذشته بر آن توافق وجود داشته‌است (بتوریت و توماس، ۲۰۰۳). عملکرد آموزشی اعضای هیأت علمی، کیفیت و کمیت تدریس را شامل می‌شود. کیفیت تدریس، با نظرخواهی از دانش‌آموختگان و دانشجویان انجام می‌شود و در آخر هر نیمسال تحصیلی امتیازات کسب شده در پرونده عضو هیأت‌علمی ضبط می‌شود. کمیت تدریس، امتیازاتی است که عضو هیأت‌علمی در فعالیت‌های آموزشی خود به دست می‌آورد که مشتمل بر فعالیت‌های حرفه‌ای تدریس، ارتباطات نوشتاری و شفاهی، مهارت‌های بین‌فردی و مدیریت کلاس یک واحد درسی است (سلجوقی،۱۳۸۲).
از آنجا که فعالیت‌های آموزشی اعضای هیأت‌علمی هدف‌های متفاوتی را دنبال می‌کنند؛ به همان
نسبت نیز ملاک‌های موفقیت آموزشی متنوع‌اند. با وجود تنوع روش‌های ارزشیابی موجود، هیچ‌یک از آن‌ها برای ارزشیابی از عملکرد آموزشی همه مدرسان در شرایط متفاوت؛ مفید و کاملاً مناسب نیستند (پوفام، ۲۰۰۲).
معمولاً دانشگاه‌ها برای کسب امتیازات بیشتر و بهبود کیفیت عملکرد آموزشی خود همه‌ساله به‌طور مداوم به ارزشیابی عملکرد آموزشی خود می‌پردازند. زیرا در صورتیکه ارزیابی بی‌نتیجه رهاشده یا از انجام آن سرباز زده‌شود؛ نیاز به آن بیشتر احساس می‌شود (طوسی، ۱۳۸۲).
فعالیت‌های آموزشی اعضای هیأت‌علمی در هریک از ۵ حوزه زیر قابل دسته‌بندی است:
آموزش‌دادن (تدریس)، شامل ارائه سخنرانی، آموزش دروس عملی، آموزش در گروه‌های کوچک، مشارکت در سمینارها و کنفرانس‌های آموزشی، طراحی و بازنگری طرح درس و تهیه مواد آموزشی و کمک‌آموزشی برای ارائه دروس مربوطه.
برنامه‌ریزی آموزشی، از جمله طراحی و اجرای برنامه آموزشی جدید (مانند برنامه‌ریزی واحد درسی)، اصلاح برنامه ­های آموزشی موجود (بر حسب نتایج حاصل از نیازسنجی و یا نقاط ضعف و قوت برنامه)
راهنمایی و مشاوره، شامل راهنمایی آموزش‌گیرندگان در سطوح مختلف برای افزایش بازدهی آنها در فعالیت­های یادگیری، یادگیری بهتر مهارت‌ها، نوشتن پروپوزال، گزارش و مقاله مرتبط با پایان‌نامه یا طرح تحقیقاتی
مدیریت و رهبری آموزشی، نظیر برنامه‌ریزی، پیگیری مستمر و فعال تعالی‌سازمانی، ارزیابی مستمر اقدامات انجام‌شده، انتشار نتایج فعالیت‌های به‌عمل‌آمده و جذب منابع مورد نیاز و سایر حیطه‌های مدیریت
ارزیابی فراگیران، شامل طراحی سؤالات آزمون برای سطوح مختلف، همکاری در برگزاری آزمون، طراحی و اجرای روش‌ها و ابزارهای ارزیابی نوین یا آزمون در سطوح مختلف(با توجه به نقاط ضعف و قوت روش های موجود) (آیین‌نامه ارزشیابی کیفیت عملکرد آموزشی اعضای هیأت علمی، ۱۳۸۷).
طبق آیین‌نامه دانشگاه فلوریدای امریکا (۲۰۰۷) نیز، عملکرد آموزشی براساس عملکرد اساتید در کلاس و جلسات بیرون از کلاس با دانشجویان، راهنمایی آن‌ها و شرکت در جلسات کارشناسی ارشد و دکتری می‌باشد. همچنین تعداد دانشجویانی که به آن‌ها تدریس داده‌شده در عملکرد آموزشی مدنظرقرار‌می‌گیرد.
اگرچه در دانشگاه‌های کشور ما نیز مانند اغلب کشورهای جهان توصیه می‌شود در ارزشیابی عملکرد اعضای هیأت علمی دانشگاه‌ها، همزمان تمامی مأموریت‌های سه‌گانه، به ویژه مأموریت آموزش و پژوهش، مورد توجه قرارگیرد و به این منظور تأکید می‌شود، فعالیت‌های دانشگاهی به گونه‌ای سازمان یابند که ارتباط نزدیکی بین آموزش و پژوهش برقرار شود و اعضای هیأت علمی هم معلم و هم محقق باشند و هر دو فعالیت را به طور همزمان و در راستای تکمیل همدیگر پیش ببرند؛ با این وجود، در عمل اهمیتی که به پژوهش داده می‌شود، بسیار بیشتر از آموزش است و روند سیاست‌گذاری‌های حمایتی از پژوهش ناخواسته سبب شده تا شاخص عملکرد در آموزش عالی بیش از حد بر برون‌دادهای پژوهشی متمرکز شده و کارکرد آموزش به طور گسترده‌ای مورد بی‌اعتنایی قرار گیرد. به همین دلیل بیشتر اعضای هیأت علمی مجبورند از طریق فعالیت‌های پژوهشی، امتیازات لازم را برای ارتقای خود کسب کنند و آموزش روز به روز مورد بی‌توجهی قرار گیرد (معروفی، ۱۳۹۰).
عملکرد پژوهشی
دنیای امروز بیش از پیش به پژوهش و تولید علم جهت رسیدن به معیارهای توسعه وابسته می‌باشد. اگر در قرن بیستم آموزش موضوع اصلی بود، در قرن بیست و یکم موضوع اصلی پژوهش است و اهمیت پژوهش و فناوری در پیشرفت کشورها از نیمه قرن بیستم پیوسته درحال ارتقا و افزایش بوده‌است. از این‌ رو هم کشورهای توسعه یافته و هم درحال‌توسعه طی ۵۰ سال اخیر، عمده توجه و اهتمام خود را جهت تقویت و ارتقاء شاخص‌های مختلف پژوهشی صرف کرده‌اند. امروزه تولید علم از مهمترین شاخص‌های تفاوت و تمایز کشورهای مختلف تلقی می‌شود (هاشمی داران، ۱۳۹۱).
یکی از مهمترین نگرانی‌ها و دغدغه‌های نظام آموزش دانشگاهی، عملکرد پژوهشی اعضای هیأت علمی می‌باشد که یکی از دو معیار اصلی برونداد دانشگاه است (بازرگان، ۱۳۸۳). دانشگاه‌ها و مراکز آموزشی با تمهیداتی از قبیل برگزاری کارگاه‌های آموزشی، اعطای فرصت مطالعاتی، اهدای جوایز نقدی، الزامی بودن برای ارتقای عمودی و افقی اعضای هیأت‌علمی، سعی در ارتقای عملکرد پژوهشی اعضای هیأت‌علمی خود داشته و درنهایت ارتقای رتبه‌بندی آموزشی و سطح بندی سازمان خود و در نهایت جامعه را دنبال می‌نمایند ( آیین نامه ارتقای اعضای هیات علمی دانشگاه ها و موسسات آموزش عالی و پژوهشی گروه پزشکی،۱۳۸۸).
شاخص‌های تعداد طرح تحقیقاتی مصوب، تعداد مقالات منتشر شده در مجلات علمی و پژوهشی در داخل کشور، تعداد مقالات علمی و پژوهشی در خارج کشور، استفاده از اینترنت و کارگاه‌های آموزشی مربوط به پژوهش از مهمترین معیارهای ارزیابی عملکرد پژوهشی اعضای هیأت‌علمی دانشگاه می‌باشد (باواسکار، ۲۰۰۱). عملکرد پژوهشی و پژوهش‌های بنیادی و کاربردی اعضای هیأت‌علمی دانشگاه در برگیرنده مقاله‌هایی است که در کنفرانس‌های داخلی (نظیر کنفرانس، کنگره، همایش و گردهمایی) و یا کنفرانس‌های خارج از کشور دارای تأییدیه رسمی از مراجع ذیربط از جمله وزارت علوم، تحقیقات و فناوری باشد، مقاله‌هایی که در نشریات علمی دانشگاهی توسط عضو هیأت‌علمی منتشر شده و کتاب‌هایی که توسط عضو هیأت‌علمی منتشر شده‌است و گزارش فنی و انتشار آن‌ها را شامل می‌شود (سلیمانی و همکاران، ۱۳۹۰).
در آیین نامه ارتقاء اعضای هیأت‌علمی(۱۳۸۷) نیز، فعالیت‌های پژوهشی شامل موارد زیر بیان شده‌است:

میکروساختارهای سیلیکونی ساخته شده بااستفاده از میکروماشینکاری سطحی معمولا ساختارهای سطحی یادوبعدی میباشند.تکنیکهای دیگرشامل استفاده ازفیلم نازک موادساختاری رها شده به وسیله برداشت یک لایه عایق زیری به گسترش سطوح میکروماشینکاری مرسوم به بعدسوم کمک کرده است.بااتصال صفحات پلی سیلیکونی به زیرلایه وهرکدام ازلایه هابه وسیله مفاصل، ساختارهای میکرومکانیکی سه بعدی بعدازآزادکردن میتوانندمونتاژشوند. رویکرددیگربرای ساختارهای سه بعدی ازرسوب موافق باپلی سیلیکون وفیلمهای اکسیدعایق، برای پرکردن عمق گودیهایی که قبلادرزیرلایه سیلیکونی اچ کاری شده اند استفاده کرده است.یک مثال ساختارهای مکانیکی ساخته شده بااستفاده ازپروسه میکروماشینکاری سطحی اصلاح شده درشکل ۱-۱۸نشان داده شده است.این میکروساختارسه بعدی مخصوصاً برای وسایل ریزاپتیکی بدون نیازبه تماس پیداکردن باتوان خروجی مفیدهستند.

۱-۶-۳روش چسباندن لایه ای
میکروماشینکاری حجمی در ایجاد میکروساختارهای سه بعدی پیچیده در حالت مونولیتیک (Monolithic) دارای محدودیت است. یکی از راه حل ها ساخت اجزاء سیستم های پیچیده به صورت لایه-لایه بوده که بعداً به هم مونتاژ می شوند. اتصال لایه ای روشی است که قادر به یکپارچه سازی بدون درز لایه های متعدد است. میکروماشینکاری سیلیکون درفرم دادن میکروساختارهای پیچیده سه بعدی دریک قالب یکپارچه محدودیتهایی دارد. دراین موارد ساختمانهای چندتراشه ای برای MEMSها پیشنهادشده اند
چسباندن لایه ای برای MEMSمیتواندبه سه دسته اصلی تقسیم شود :

1. 1. چسباندن آنودی^[۳۹]

1. 1. چسباندن لایه واسطهکمکی^[۴۰]

1. 1. چسباندن مستقیم^[۴۱]

۱-۷پایداری MEMS
برخی پدیده های متداول در MEMS وجود دارند که که در اکثر سیستمهای MEMS با آنها سر و کار داریم. بنابراین آگاهی نسبت به این پدیده ها برای دستیابی به طراحی برتر، ضروری و حتی حیاتی به نظر می رسد. یکی از این پدیده های مهم، پدیده Pull-in است.
سنسورهای MEMS از نوع خازنی اساساً یک مبدل الکترواستاتیکی هستند که عملکردشان وابسته به انرژی الکتریکی بر حسب ولتاژ ثابت و یا ذخیره بار ثابت به منظور سهولت آگاهی از تغییرات خازنی ناشی از تحریکات مکانیکی خارجی مانند نیرو و شتاب است. میکروتیرهای یک سر گیردار به طور گسترده در سنسورهای MEMS از نوع خازنی به عنوان اجزاء حس کننده مورد استفاده قرار می گیرند. به کارگیری ولتاژ ثابت در تحریک سیستم های MEMS نسبتاً راحت و متداول بوده و نیروی الکترواستاتیکی ایجاد شده به این روش غیرخطی است. اعمال یک ولتاژ DC بر روی یک تیر یا یک صفحه خازنی باعث ایجاد نیروی الکترواستاتیکی شده و سیستم را تا نقطه تعادل جدیدش دچار خیز خواهد کرد، در حالیکه ولتاژ پله، سیستم را حول نقطه تعادلش به نوسان وامی دارد. با افزایش این نوع بارگذاری، نیروهای برگرداننده مکانیکی سیستم در برابر نیروهای مخالف مقاومت کمتری داشته و سازه مرتبا دچار خیز بیشتری می گردد، در نتیجه نیروی الکتریکی در یک حلقه پسخوراند مثبت افزایش می یابد. این روند تا برخورد فیزیکی الکترودها و دگرگونی سیستم ادامه می یابد. پدیده ناپایداری سازه ای به عنوان Pull-in شناخته شده است و ولتاژ بحرانی متناظر با آن ولتاژ Pull-inنام دارد. تعیین دقیق ولتاژ Pull-in در پروسه طراحی برای تعیین حساسیت، پاسخ فرکانسی، پایداری و محدوده دینامیکی سیستم ضروری است. همچنین ولتاژ Pull-in می تواند در تشخیص خواص مواد مانند مدول یانگ موثر باشد.
یک مساله مهم در طراحی رزوناتورهای MEMS، تنظیم بارهای الکتریکی قبل از ناپایداری Pull-in است که ساختار را به سوی متلاشی شدن و شکست پیش می برد. از سوی دیگر این پدیده اساس عملکرد سوئیچ های با فرکانس رادیوئی در MEMS را تشکیل می دهد، که در آن، سازه مکانیکی با اعمال ولتاژ بیشتر از ولتاژ Pull-in با بیشترین سرعت و در کمترین زمان گسیخته می شود.
۱-۸مزایا و معایبMEMS
MEMSاین امکان را فراهم می‌کند که با ساخت سنسورهایی بسیار کوچک‌تر، سیستم‌ها بتوانند محیط اطرافشان را با دقت بسیار بالاتری نسبت به سیستم‌های ماکرو حس کرده و کنترل نمایند. این سنسورها در ساده‌ترین حالت خود به کمک ارزیابی پدیده‌های مکانیکی، گرمایی، زیستی، شیمیایی، نوری و مغناطیسی، اطلاعات را از محیط جمع‌ آوری می‌کنندوسیستم‌های الکترومکانیکی به کمک قدرت تصمیم‌گیری خود، با پاسخ‌‌هایی همچون جابه‌جایی، ضربه، تنظیم‌، پمپ‌کردن و فیلتر، محیط را به سمت نتایج موردنظر هدایت می‌کنند. از آنجا که دستگاه‌های MEMS همانند IC‌ها با تکنیک‌های ساخت مدارات مجتمع ساخته می‌شوند، می‌توان با صرف هزینه‌های پایین‌ترسطح بسیار بالایی از کارکرد و اطمینان را بر روی تراشه‌های کوچکیکه معمولاً از سیلیکون به دلیل داشتن خواص عالی همچون نسبت استحکام به وزن بالاساخته می‌شوند ایجاد کرد.
این فناوری جدید، مزایای متعددی دارد، اول اینکه فناوری گسترده‌ای است که می‌تواند تأثیر مهمی بر انواع تولیدات تجاری و نظامی بگذارد و دوم اینکه فاصله‌ی بین سیستم‌های مکانیکی پیچیده و مدارهای مجتمع الکترونیکی را پر می‌کند. سنسورها و محرکها عموماً گران قیمت‌اند، علاوه بر این محرکها و سنسورهای الکترونیکی در ابعاد بزرگقابل اعتماد نیستند. این فناوریامکان ساخت سیستم‌های میکروالکترومکانیکی را فراهم کرده که موجب برابری قیمت و اعتبار سنسورها و محرکها بامدارهای مجتمع می‌شود و انتظار می‌رود کارآیی دستگاه ها و ابزارهای MEMS بالاتر از عناصر و سیستمهای مقیاس ماکرو و قیمت آنها خیلی پایین‌ترباشد.
تکنولوژی MEMS در کنار مزیت‌های فراوانی که دارد دارای معایبی نیز می‌باشد. از نظر طراحی، استفاده از نرم افزارهای معمول طراحی بسیار وقت گیر بوده و دارای توانایی کافی برای اینکه بتواند تمام فاکتورهای واقعی اثرگذار روی عملکرد MEMSرا در نظر بگیرد نمی‌باشدبه طوریکه پیچیدگی طراحی MEMS بزرگترین معضل طراحان MEMS می‌باشد. حتی ساده‌ترین MEMS از شرایط مختلف محیطی که در مواقعی برای سیستم‌های ماکرو نامحسوس استتأثیرپذیری بسیاربالایی دارند و لازمه حل این معضل اینست که طراح MEMS در جستجوی راهی برای کنترل تأثیر متقابل و پیچیده این شرایط باشد. از نظر ساخت نیز، موضوع هزینه، سدی است که اغلب طراحان MEMS با آن روبرو می‌شوند و سرمایه‌گذاری‌های اولیه‌ی بالا سرعت پیشرفت MEMS را محدود می کنند.
سیستمهای MEMS به طور خاص از به‌ کارگیری تحریک و دریافت خازنی بهره می‌برند که در آن یک صفحه یا الکترود به روش الکترواستاتیکی فعال شده و حرکت و رفتار آن با تغییرات خازنی قابل مطالعه است. نمونه‌های بسیاری در MEMS وجود دارند که بر تحریک الکترواستاتیکی که در شکل (۱-۱۹) نشان داده شده است استوارند، از جمله میکروفون‌ها، میکرومحرک‌های دنده شانه ای^[۴۲]، میکروسنسورهای رزونانسی و میکروسوئیچهای با فرکانس رادیویی.

شکل ۱-۱۹: دیاگرام شماتیکی از ایجاد نیروی الکترواستاتیکی
در دهه اخیر تکنولوژی MEMS همزمان با سایر زمینه‌ها پیشرفت فراوانی در ساخت ابزارهای صوتی نیز داشته است که از آن جمله می‌توان به میکروفون‌ها اشاره کرد. با پیشرفت میکروفون‌های میکرو کاربرد این نوع میکروفون‌ها با توجه به کوچکی ابعاد و پایین بودن هزینه‌ها در سمعکها، تلفن های همراه، میکرپرسنال دیجیتال آسیستان^[۴۳] بسیار رشد کرده است که در بیشتر آن‌ها از نیروی الکترواستاتیک به عنوان نیروی محرک استفاده می‌کنند. نیروی الکترواستاتیکی با اعمال ولتاژ بین دو صفحه ایجاد می شود و معمولاً فضای بین این دو صفحه توسط یک ماده دی‌الکتریک مانند هوا پر شده است. میکرومحرک الکترواستاتیکی یکی از پر‌کابردترین نوع میکرومحرکها در MEMS می‌باشد که از آن جمله می‌توان به میکروموتور^[۴۴]و میکرومحرک دنده شانه ای اشاره کرد کهدر شکل(۱-۲۰) ، عکس‌های میکروسکوپی از این دو میکرومحرک الکترواستاتیکی نشان داده شده است.

الف

ب
شکل ۱-۲۰:الف) میکرو محرک میکروموتور الکترواستاتیکی ، ب)الکترواستاتیکی دنده شانه‌ای
از نظر ساخت، میکرومحرک‌های الکترواستاتیکی میتوانند به آسانی روی یک تراشه ایجاد شوند و از آنجایی که در طی مراحل تحریک هیچ مصرف جریانی وجود ندارد، لذا در میکرومحرک‌های الکترواستاتیکی هیچ توانی مصرف نمی‌شود اما به منظور ایجاد نیرو و خیز بزرگ ولتاژ زیادی مورد نیاز است. همچنین تنشهای ایجاد شده، کنترل میکرومحرک‌های الکترواستاتیکی را با مشکل مواجه می‌سازند.
کاربردهای تکنولوژی MEMSبه قدری گسترده است که میتوان گفت تقریباً در تمامی زمینه‌های مختلف صنعتی، شامل سیستم‌های مکانیکی، الکتریکی، نوری و شیمیایی، به نوعی استفاده میشود. ساخت سنسورها در مقیاس میکرو نسبت به سنسورهای سنتی در مقیاس ماکرو دارای سه مزیت عمده‌ی قیمت پایین ، اندازه کوچک ومصرف کم است که می‌توان مزایای زیر را نیز به نقاط قوت مذکور اضافه کرد:

• • آسانی ساخت و سرعت در تولید انبوه آن

• • قابلیت ساخت سیستم‌‌‌های پیچیده به صورت یکپارچه

• • یکسان بودن مشخصه‌ های تعداد زیادی از یک محصول

• • دقت چیدمانی چند سنسور بر روی یک مدار

• • کاهش فرسودگی و پایداری مشخصه‌ ها در زمان بیشتر

فصل دوم
پیشینه تحقیق
۲-۱مروری بر کلیات تاریخچه(MEMS)
مروری کلی بر تاریخچه تقریبا کوتاه میکرومکانیک و خلاصه ای از مراحل برجسته آن به شرح زیر می باشد:
در سال ۱۹۵۹، موسسه صنعتی کالیفرنیا برای اولین بار تکنیک ساخت مینیاتوری و کوچک را برای میکروماشینها ابداع کرد.یک دهه بعد، در سال ۱۹۶۹، وستینگ هاوس^[۴۵] یک فیلتر رزونانسی بر پایه روش جدید ساخت میکروالکترونیکی ایجاد کرد.در سال ۱۹۷۴، National Semiconductor به عنوان اولین کمپانی در ساخت سنسورهای فشار در حجم بالا شروع به کار کرد.در دهه ۱۹۷۰، اولین سنسورهای فشار با بهره گرفتن از ویفر سیلیکونی ساخته شدند.در دهه ۱۹۸۰، گامی بزرگ در جهت ساخت اولین محرکهای الکترواستاتیکی شانه ای پلی سیلیکونی برداشته شد. همچنین در آن زمان آزمایشات و نشریه ها علاقه عمومی را برانگیخته بود.که اولین مجله موضوعی با نام Sensors and Actuators در سال ۱۹۸۰ منتشر شد.کلمه MEMS در سال ۱۹۸۷ ایجاد و مورد استفاده قرار گرفت.در دهه ۱۹۹۰ گامی فراتر در زمینه اولین سازه های سه بعدی در ^[۴۶]UCLA برداشته شد.